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一种具有局域金属寿命控制的功率器件

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201520828320.6
  • IPC分类号:H01L29/861;H01L29/06;H01L29/167;H01L21/329;H01L21/268
  • 申请日期:
    2015-10-23
  • 申请人:
    国网智能电网研究院;国网上海市电力公司;国家电网公司
著录项信息
专利名称一种具有局域金属寿命控制的功率器件
申请号CN201520828320.6申请日期2015-10-23
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L29/861
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;9;/;8;6;1;;;H;0;1;L;2;9;/;0;6;;;H;0;1;L;2;9;/;1;6;7;;;H;0;1;L;2;1;/;3;2;9;;;H;0;1;L;2;1;/;2;6;8查看分类表>
申请人国网智能电网研究院;国网上海市电力公司;国家电网公司申请人地址
北京市昌平区小汤山镇大东流村路270号(未来科技城) 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人国网智能电网研究院,国网上海市电力公司,国家电网公司当前权利人国网智能电网研究院,国网上海市电力公司,国家电网公司
发明人吴迪;刘钺杨;何延强;董少华;曹功勋;刘江;金锐;温家良
代理机构北京安博达知识产权代理有限公司代理人徐国文
摘要
本实用新型涉及一种具有局域金属寿命控制的功率器件,功率器件包括衬底和其上形成的P+区共同构成的PN结,在所述衬底N-层上生长有氧化层;在P+区内设有深能级掺杂层;深能级杂质的扩散完全依赖于温度,温度决定其扩散速度及在硅中的固溶度。在对深能级杂质进行热扩散时,采用单面退火,如激光退火方式进行,利用激光退火的局域温度分布在芯片轴向范围内实现深能级杂质的限定深度推结,本实用新型提供的技术方案实现器件局域金属寿命控制。

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