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一种用于获取表面势的方法及装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201810577635.6
IPC分类号：G06F30/27
申请日期：
2018-06-07
申请人：
中国科学院微电子研究所

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种用于获取表面势的方法及装置
申请号	CN201810577635.6	申请日期	2018-06-07
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2018-11-13	公开/公告号	CN108804807A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G06F30/27	IPC分类号	G06F30/27查看分类表>
申请人	中国科学院微电子研究所	申请人地址	北京市朝阳区北土城西*** 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院微电子研究所	当前权利人	中国科学院微电子研究所
发明人	卢年端;李泠;刘明
代理机构	北京华沛德权律师事务所	代理人	房德权

摘要

本发明提供了一种用于获取表面势的方法及装置，方法包括：获取多个目标器件的参数信息，参数信息包括：尺寸、器件结构、材料参数以及不同温度下的各所述目标器件的载流子迁移率；所述多个目标器件包括：常规材料制备的器件以及表面势已经被确定的新型材料制备的器件；所述常规材料包括体材料，所述第一新型材料包括：薄膜材料；在对应的操作条件下，基于每个所述目标器件的尺寸、所述器件结构、所述材料参数及所述迁移率提取各表面势；基于各所述表面势和参数信息建立表面势数据库；基于所述表面势数据库，根据神经网络构建表面势解析模型；利用所述表面势解析模型确定新型材料制备的器件的表面势。

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