用于制造声换能器的方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201910113741.3
IPC分类号：H04R31/00
申请日期：
2012-11-14
申请人：
英飞凌科技股份有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	用于制造声换能器的方法
申请号	CN201910113741.3	申请日期	2012-11-14
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2019-07-12	公开/公告号	CN110012411A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H04R31/00 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H04 电通信技术 H04R 扬声器、传声器、唱机拾音器或其他声—机电传感器；助听器；扩音系统（产生的声音和频率与电流频率无关的入G10K）〔6〕 H04R31/00 专用于制造传感器或其所用振膜的设备或方法	IPC分类号	H;0;4;R;3;1;/;0;0查看分类表>
申请人	英飞凌科技股份有限公司	申请人地址	德国瑙伊比贝尔格市变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	英飞凌科技股份有限公司	当前权利人	英飞凌科技股份有限公司
发明人	许舒婷;阿尔方斯·德赫
代理机构	北京康信知识产权代理有限责任公司	代理人	暂无

摘要

本发明涉及用于制造声换能器的方法，包括:提供具有第一表面和第二表面的基板，第一表面界定第一平面；界定隔离沟槽的沟槽蚀刻掩模；使用沟槽蚀刻掩模来蚀刻隔离沟槽；利用隔离材料重新填充隔离沟槽；界定用于本体、将本体连接至基板的弹性铰链、与基板相关联的第一组梳齿以及与本体相关联的第二组梳齿中的至少一个蚀刻掩模，第一组梳齿连接至第一电连接件，第二组梳齿连接至第二电连接件，第二电连接件通过隔离沟槽与第一电连接件隔离；以及使用蚀刻掩模同时蚀刻本体、弹性铰链、第一组梳齿和第二组梳齿，使得本体从基板释放；其中，第一组梳齿和第二组梳齿相互交叉；以及其中，本体和弹性铰链被配置为用于谐振或近谐振激励。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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