半导体制造装置及其控制系统的引导方法和联锁方法

发明专利无效专利

申请号：
CN01811072.X
IPC分类号：--
申请日期：
2001-06-14
申请人：
东京毅力科创株式会社

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著录项信息

专利名称	半导体制造装置及其控制系统的引导方法和联锁方法
申请号	CN01811072.X	申请日期	2001-06-14
法律状态	权利终止	申报国家	暂无
公开/公告日	2003-09-17	公开/公告号	CN1443363
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	东京毅力科创株式会社	申请人地址	日本国东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	东京毅力科创株式会社	当前权利人	东京毅力科创株式会社
发明人	山内徹;冈田公纪;祢津忠人
代理机构	北京纪凯知识产权代理有限公司	代理人	龙淳;彭益群

摘要

一种联锁系统可以在半导体制造装置的控制系统中立即确定具有不正常情况的控制器，其中控制器通过网络连接。控制系统包括至少一个装置控制器和操纵装置控制器的设备控制器，该装置控制器控制含有至少一个进行半导体制造工艺的处理室的处理系统和将待处理物体运进和运出处理室的运输系统。装置控制器和设备控制器通过网络通信连接。两种控制器经过硬布线连接以将这些控制器的状态信号输送给控制系统，以便可以在不用网络通信的情况下检测每个控制器的存在和控制器之间的连接状态。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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