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分层加热器结构的电极调整方法和设备

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200880126928.7
  • IPC分类号:H01L21/687;H05B3/14
  • 申请日期:
    2008-12-16
  • 申请人:
    迈图高新材料公司
著录项信息
专利名称分层加热器结构的电极调整方法和设备
申请号CN200880126928.7申请日期2008-12-16
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2011-05-11公开/公告号CN102057478A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/687IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;8;7;;;H;0;5;B;3;/;1;4查看分类表>
申请人迈图高新材料公司申请人地址
美国纽约 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人迈图高新材料公司当前权利人迈图高新材料公司
发明人魏帆;本杰明·J·沃利奇诺维兹;马可·沙普肯斯;大卫·M·鲁辛科;刘翔;约翰·T·马里纳
代理机构北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)代理人刘新宇
摘要
提供一种包括电极层的分层加热器结构以及用于以高精度调整分层加热器结构的电极层的局部调整方法。该局部调整方法将电极层调整至其适当的局部阻抗,以使加热器表面上的温度偏移最小化,由此提供与基于研磨或爆破等的厚度修整技术或热处理等的电阻率调整的传统的非局部阻抗调整方法形成明显对比的期望热分布。

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