一种产生连续可变光瞳的照明装置

发明专利有效专利

申请号：
CN200810041706.7
IPC分类号：F21V5/04;G03F7/20;H01L21/027
申请日期：
2008-08-14
申请人：
上海微电子装备有限公司

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著录项信息

专利名称	一种产生连续可变光瞳的照明装置
申请号	CN200810041706.7	申请日期	2008-08-14
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2009-04-15	公开/公告号	CN101408285
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	F21V5/04 ? IPC结构图谱： F 机械工程；照明；加热；武器；爆破 F2 照明；加热 F21 照明 F21V 照明装置或其系统的功能特征或零部件；不包含在其他类目中的照明装置和其他物品的结构组合物〔1，7〕 F21V5/00 光源的折射器（以冷却的布置为特征的入F21V29/504）〔1，2006.01，2015.01，2018.01〕 F21V5/04 透镜形的	IPC分类号	F;2;1;V;5;/;0;4;;;G;0;3;F;7;/;2;0;;;H;0;1;L;2;1;/;0;2;7查看分类表>
申请人	上海微电子装备有限公司	申请人地址	上海市张江高科技园区张东路1525号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海微电子装备（集团）股份有限公司	当前权利人	上海微电子装备（集团）股份有限公司
发明人	郭勇;李仲禹
代理机构	上海思微知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	屈蘅;李时云

摘要

本发明的产生连续可变光瞳的照明装置在照明系统的光瞳面附近放置一光学系统，具有x和y方向不同的光焦度，经过该系统后，在x和y方向坐标相同的照明光瞳形貌可以整形成x方向和y方向不相同。该光学系统可以设计成在x方向(或y方向)的连续变焦扩束系统，以实现照明光瞳形貌连续可调。本发明无需增加光瞳挡板，光能利用率高。不用另外设计定做衍射元件产生所需照明模式。结构简单，只需在传统照明系统的光瞳面后插入该光学系统，以实现对照明光瞳的整形。可以针对不同的掩模图案产生更为灵活的照明模式，增加了四极照明的可调自由度。

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