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工艺数据的传送方法、装置及系统

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201010537614.5
  • IPC分类号:H04L1/00
  • 申请日期:
    2010-11-05
  • 申请人:
    北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
著录项信息
专利名称工艺数据的传送方法、装置及系统
申请号CN201010537614.5申请日期2010-11-05
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2012-05-23公开/公告号CN102468907A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H04L1/00IPC分类号H;0;4;L;1;/;0;0查看分类表>
申请人北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司申请人地址
北京经济技术开发区文昌大道8号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人北京北方华创微电子装备有限公司当前权利人北京北方华创微电子装备有限公司
发明人张继宏
代理机构北京天昊联合知识产权代理有限公司代理人彭瑞欣;张天舒
摘要
本发明提供了一种工艺数据的传送方法、装置及系统,所述方法包括:预先配置各种工艺数据的类型,所述类型包括实时性工艺数据和非实时性工艺数据;采集工艺过程中的工艺数据,并判断所述工艺数据的类型;如果所述工艺数据为实时性工艺数据,则每隔预置时间间隔将所述实时性工艺数据传送至上位机;如果所述工艺数据为非实时性工艺数据,则缓存所述非实时性工艺数据;且当满足预置的上传条件时,打包所述缓存的非实时性工艺数据以生成数据包;并传送所述数据包至上位机。通过本发明,减少了设备端控制软件和上层软件数据交互的通信压力,提高了数据传送的可靠性。

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