工艺数据的传送方法、装置及系统

发明专利有效专利

申请号：
CN201010537614.5
IPC分类号：H04L1/00
申请日期：
2010-11-05
申请人：
北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	工艺数据的传送方法、装置及系统
申请号	CN201010537614.5	申请日期	2010-11-05
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2012-05-23	公开/公告号	CN102468907A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H04L1/00 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H04 电通信技术 H04L 数字信息的传输，例如电报通信（电报和电话通信的公用设备入H04M）〔4〕 H04L1/00 检测或防止收到信息中的差错的装置	IPC分类号	H;0;4;L;1;/;0;0查看分类表>
申请人	北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司	申请人地址	北京经济技术开发区文昌大道8号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京北方华创微电子装备有限公司	当前权利人	北京北方华创微电子装备有限公司
发明人	张继宏
代理机构	北京天昊联合知识产权代理有限公司	代理人	彭瑞欣;张天舒

摘要

本发明提供了一种工艺数据的传送方法、装置及系统，所述方法包括：预先配置各种工艺数据的类型，所述类型包括实时性工艺数据和非实时性工艺数据；采集工艺过程中的工艺数据，并判断所述工艺数据的类型；如果所述工艺数据为实时性工艺数据，则每隔预置时间间隔将所述实时性工艺数据传送至上位机；如果所述工艺数据为非实时性工艺数据，则缓存所述非实时性工艺数据；且当满足预置的上传条件时，打包所述缓存的非实时性工艺数据以生成数据包；并传送所述数据包至上位机。通过本发明，减少了设备端控制软件和上层软件数据交互的通信压力，提高了数据传送的可靠性。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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