一种用于薄型样品的扫描电镜样品台

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202022050397.9
IPC分类号：H01J37/20;H01J37/28
申请日期：
2020-09-17
申请人：
国联汽车动力电池研究院有限责任公司

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专利名称	一种用于薄型样品的扫描电镜样品台
申请号	CN202022050397.9	申请日期	2020-09-17
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/20 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/02 零部件 H01J37/20 物体或材料的支承或定位装置；与支架相联的光阑或透镜的调整装置	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;2;0;;;H;0;1;J;3;7;/;2;8查看分类表>
申请人	国联汽车动力电池研究院有限责任公司	申请人地址	北京市怀柔区雁栖经济开发区兴科东大街11号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	国联汽车动力电池研究院有限责任公司	当前权利人	国联汽车动力电池研究院有限责任公司
发明人	王泽;方彦彦;沈雪玲;王晓丹;李晓兵;李晓萍;刘美;袁敏娟;严细峰;王喆;唐玲;云凤玲;崔义;张杭;闫坤;张向军;王琳
代理机构	北京路浩知识产权代理有限公司	代理人	周琦

摘要

本实用新型实施例提供一种用于薄型样品的扫描电镜样品台，涉及扫描电镜测试设备领域，包括：基座和至少一个夹持组件，夹持组件包括第一夹持体和与第一夹持体可拆卸连接的第二夹持体，第一夹持体与第二夹持体通过相互重叠夹持样品，基座用于承载夹持组件，并与夹持组件可拆卸连接，第一夹持体呈设置有镂孔的片状结构；第一夹持体的材质为具有弹性的导电材料，第二夹持体与基座的材质均为导电材料。通过使用设置有镂孔的夹持体固定样品，最大限度地提高了样品表面的导电点密度，减少了电荷蓄积。通过夹持式固定样品，避免了使用胶带对样品表面的潜在影响。通过使用弹性夹持体进行贴合式固定，降低了夹持体划伤样品表面的可能性。

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