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载气集中控制系统

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201320763552.9
  • IPC分类号:G01N35/00;G01N35/10
  • 申请日期:
    2013-11-27
  • 申请人:
    福建博纯材料有限公司
著录项信息
专利名称载气集中控制系统
申请号CN201320763552.9申请日期2013-11-27
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01N35/00IPC分类号G;0;1;N;3;5;/;0;0;;;G;0;1;N;3;5;/;1;0查看分类表>
申请人福建博纯材料有限公司申请人地址
福建省泉州市永春县下洋镇大荣村 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人博纯材料股份有限公司当前权利人博纯材料股份有限公司
发明人陈国富;施宏伟
代理机构广州市红荔专利代理有限公司代理人张文
摘要
本实用新型涉及气体控制装置,提供一种载气集中控制系统。包括总线管、进气管、抽真空管、排气管和输气管;进气管、抽真空管、排气管和输气管都连接到总线管上;输气管的稳压阀连接到气质联用仪,在本实用新型的载气集中控制系统的控制下可以获得速率稳定、纯度高的载气。

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