一种化学机械抛光传输机器人系统

发明专利有效专利

申请号：
CN201210050639.1
IPC分类号：B24B37/02;B24B37/34;B25J9/16
申请日期：
2012-02-29
申请人：
清华大学

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著录项信息

专利名称	一种化学机械抛光传输机器人系统
申请号	CN201210050639.1	申请日期	2012-02-29
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2012-07-18	公开/公告号	CN102581745A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B24B37/02 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B24 磨削；抛光 B24B 用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F 3/00）；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给 B24B37/00 研磨机床或装置；附件（B24B 3/00优先） B24B37/02 适用于加工回转面的〔1，2012.01〕	IPC分类号	B;2;4;B;3;7;/;0;2;;;B;2;4;B;3;7;/;3;4;;;B;2;5;J;9;/;1;6查看分类表>
申请人	清华大学	申请人地址	北京市海淀区-82信箱变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	清华大学	当前权利人	清华大学
发明人	路新春;赵建伟;何永勇;周顺;沈攀;许振杰
代理机构	北京清亦华知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	张大威

摘要

本发明提出一种化学机械抛光传输机器人系统，包括：执行机构包括机器人本体和支撑装置，机器人本体包括爪、手爪翻转机构、小臂体、大臂体和套筒，支撑装置包括：直线导轨滑台和导轨丝杠；检测器用于检测执行机构的工作状态参数以生成检测信息；控制装置用于控制手爪的运动位移和运动角度，包括：上位控制器、主控制器、运动控制器、伺服驱动器、电机和编码器，上位机控制器用于接收用户输入的操作指令；编码器用于检测相应的电机的状态信息；主控制器用于生成执行机构的运动指令，运动控制器用于按照预设控制算法计算电机控制量；伺服驱动器用于计算相应电机的控制转矩；电机用于在相应的控制转矩的控制下驱动执行机构运动。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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