一种真空镀膜室

发明专利无效专利

申请号：
CN201310491811.1
IPC分类号：C23C14/50
申请日期：
2013-10-21
申请人：
辽宁北宇真空科技有限公司

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著录项信息

专利名称	一种真空镀膜室
申请号	CN201310491811.1	申请日期	2013-10-21
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2014-01-08	公开/公告号	CN103498130A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/50 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/50 基座〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;5;0查看分类表>
申请人	辽宁北宇真空科技有限公司	申请人地址	辽宁省铁岭市铁岭县工业园区懿路工业园区变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	辽宁北宇真空科技有限公司	当前权利人	辽宁北宇真空科技有限公司
发明人	关秉羽
代理机构	铁岭天工专利商标事务所	代理人	靳万清

摘要

本发明公开了一种真空镀膜室，包括镀膜室罐体，镀膜室罐体底部具有罐体安装支架，镀膜室罐体内设有筒形弧形板安装转架，筒形弧形板安装转架具有筒体，所述筒形弧形板安装转架的筒体内固定装有与该筒体形状相配合的气密封空心筒。采用上述结构的真空镀膜室，由于所述筒形弧形板安装转架的筒体内固定装有与该筒体形状相配合的气密封空心筒，当使用真空泵抽镀膜室罐体内的气体时，相当于少抽了所述气密封空心筒所占空间体积的气体，因此即使采用功率较小的真空泵也能在相对较短的时间内使镀膜室罐体内达到所需要的真空度，由于可以采用较小功率的真空泵，所以使用本发明的真空镀膜室对板材镀膜时节约了电能，提高了效率，降低了真空泵的采购成本。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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