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研磨用芯片

发明专利无效专利

申请号：
CN99801425.7
IPC分类号：--
申请日期：
1999-07-22
申请人：
松村诚

基础信息

权利要求

说明书

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	研磨用芯片
申请号	CN99801425.7	申请日期	1999-07-22
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2000-11-29	公开/公告号	CN1275204
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	松村诚	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	松村诚	当前权利人	松村诚
发明人	松村诚
代理机构	上海专利商标事务所	代理人	王宏祥

摘要

一种研磨用芯片，外形形状大致与半导体器件的外形相同，可在搭载在半导体器件试验装置上的半导体器件安装用插座(11)上装拆，通过使插座的接触脚(15)的前端(15a)与形成在安装于该插座的研磨用芯片前端部上的研磨材料层(22)接触来研磨接触脚前端，从而去除接触脚上的异物。

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