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基板分割机

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN200720095450.9
  • IPC分类号:H01L21/78;H01L21/301;B26D1/12;B26D7/18;B28D5/02
  • 申请日期:
    2007-03-09
  • 申请人:
    天津市海普森自动化技术有限公司
著录项信息
专利名称基板分割机
申请号CN200720095450.9申请日期2007-03-09
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/78IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;7;8;;;H;0;1;L;2;1;/;3;0;1;;;B;2;6;D;1;/;1;2;;;B;2;6;D;7;/;1;8;;;B;2;8;D;5;/;0;2查看分类表>
申请人天津市海普森自动化技术有限公司申请人地址
天津市华苑产业区海泰绿色产业基地K2座5门103室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人天津市海普森自动化技术有限公司当前权利人天津市海普森自动化技术有限公司
发明人陈晓东
代理机构天津盛理知识产权代理有限公司代理人王融生
摘要
一种基板分割机,机座面上装有随行卡具,随行卡具上面装有工装卡具,工装卡具表面设有产品托块和定位托钉,产品托块表面有盖板,盖板一侧边缘有盖板吸附锁,盖板另一侧边缘有合页;随行卡具一侧边外设有气缸定位销,随行卡具另一侧边外设有定位钉和光电识别器;随行卡具通过定位销及螺钉固定在机器人的Y轴上,机器人的X轴上装有Z轴,Z轴上装有高速主轴和卡紧装置,卡紧装置装卡合金铣刀;在卡紧装置下端设有负压吸附装置,负压吸附装置连接气路系统。自动化程度高,一人可以操作多台。气动定位销使加工产品重复精度好。通用性强,一台机器人适应多种产品,更换产品方便。改善生产环境。

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