一种熔石英光学元件表面Sol-gel减反射膜层清洗方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202011568122.2
IPC分类号：C03C23/00;G01B11/06;G01B21/30;G01N21/31;G01N21/59;G01N21/65;G01Q60/24
申请日期：
2020-12-25
申请人：
中国人民解放军国防科技大学

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种熔石英光学元件表面Sol-gel减反射膜层清洗方法
申请号	CN202011568122.2	申请日期	2020-12-25
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-05-07	公开/公告号	CN112759280A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C03C23/00 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C03 玻璃；矿棉或渣棉 C03C 玻璃、釉或搪瓷釉的化学成分；玻璃的表面处理；由玻璃、矿物或矿渣制成的纤维或细丝的表面处理；玻璃与玻璃或与其他材料的接合 C03C23/00 纤维或丝之外玻璃的其他表面处理	IPC分类号	C;0;3;C;2;3;/;0;0;;;G;0;1;B;1;1;/;0;6;;;G;0;1;B;2;1;/;3;0;;;G;0;1;N;2;1;/;3;1;;;G;0;1;N;2;1;/;5;9;;;G;0;1;N;2;1;/;6;5;;;G;0;1;Q;6;0;/;2;4查看分类表>
申请人	中国人民解放军国防科技大学	申请人地址	湖南省长沙市开福区砚瓦池正街47号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国人民解放军国防科技大学	当前权利人	中国人民解放军国防科技大学
发明人	宋辞;石峰;钟曜宇;田野;张坤;铁贵鹏;薛帅;林之凡
代理机构	湖南兆弘专利事务所（普通合伙）	代理人	谭武艺

摘要

本发明涉及强激光光学元件加工技术，公开了一种熔石英光学元件表面Sol‑gel减反射膜层清洗方法，实施步骤包括：测量待清洗样品表面Sol‑gel减反射膜的膜层厚度h；使用玻璃夹具对待清洗样品进行装夹；将待清洗元件连同玻璃夹具装入离子束机床工作腔内；将离子束机床工作腔抽真空，然后通入惰性气体；对待清洗样品进行一次惰性气体离子束干法清洗工艺去除待清洗样品表面膜层厚度h的Sol‑gel减反射膜层。本发明工艺流程简单、可操作性强、能保证清除熔石英表面Sol‑gel减反射膜层，并确保在清洗的过程中改善表面质量，不产生含放射性污染的含氚废液。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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