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具有侧壁磁体的感应等离子体系统

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200610003273.7
  • IPC分类号:C23C16/513;C23C16/52;C23C16/54;H01L21/365
  • 申请日期:
    2006-02-08
  • 申请人:
    应用材料公司
著录项信息
专利名称具有侧壁磁体的感应等离子体系统
申请号CN200610003273.7申请日期2006-02-08
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2006-08-16公开/公告号CN1818132
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/513IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;5;1;3;;;C;2;3;C;1;6;/;5;2;;;C;2;3;C;1;6;/;5;4;;;H;0;1;L;2;1;/;3;6;5查看分类表>
申请人应用材料公司申请人地址
美国加利福尼亚州 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人应用材料公司当前权利人应用材料公司
发明人陆思青;梁起威;赖灿风;杰森·博洛金;埃利·Y·易
代理机构北京东方亿思知识产权代理有限责任公司代理人赵飞
摘要
一种衬底处理系统具有限定处理室的壳体。衬底夹持器放置在处理室内并被配置来在衬底处理期间支撑衬底平面内的衬底。气体传输系统被配置来将气体引入到处理室内。压力控制系统维持处理室内的选定压力。高密度等离子体生成系统与处理室可操作的耦合。具有磁偶极子的磁约束环沿垂直于衬底平面的对称轴呈圆周形放置,并且提供了具有基本不平行于衬底平面的净偶极矩的磁场。控制器控制气体传输系统、压强控制系统和高密度等离子体系统。

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