一种振镜式激光扫描系统

发明专利无效专利

申请号：
CN200310111572.9
IPC分类号：--
申请日期：
2003-12-12
申请人：
华中科技大学

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种振镜式激光扫描系统
申请号	CN200310111572.9	申请日期	2003-12-12
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2004-11-17	公开/公告号	CN1547055
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	华中科技大学	申请人地址	湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	华中科技大学	当前权利人	华中科技大学
发明人	黄树槐;史玉升;叶春生;陈国清;谢军;文世峰
代理机构	华中科技大学专利中心	代理人	曹葆青

摘要

本发明公开了一种振镜式激光扫描系统，包括激光器、聚焦模块、X轴扫描头和Y轴扫描头。激光束通过聚焦模块，经X轴扫描头和Y轴扫描头到达焦点工作平面，所述X轴扫描头(4)和Y轴扫描头(5)均由全数字交流伺服电机(7、9)和附在其转轴上的镜片(8、10)组成，全数字交流伺服电机(7、9)的转轴上设置有限位装置；控制系统(15)通过二个全数字交流伺服电机的控制器(12、13)分别控制镜片(8、10)在X轴和Y轴上移动，实现二维扫描。增设动态聚焦模块后，可实现三维扫描。本发明构成的激光扫描系统结构简单，精度更高、扫描速度更快、可靠性更高、成本更低，克服模拟式温漂。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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