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以无机盐为前驱物LPCVD技术制备透明导电氧化物薄膜玻璃的方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201110325464.6
  • IPC分类号:H01L31/18
  • 申请日期:
    2011-10-24
  • 申请人:
    通用光伏能源(烟台)有限公司
著录项信息
专利名称以无机盐为前驱物LPCVD技术制备透明导电氧化物薄膜玻璃的方法
申请号CN201110325464.6申请日期2011-10-24
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2012-02-01公开/公告号CN102339905A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L31/18IPC分类号H;0;1;L;3;1;/;1;8查看分类表>
申请人通用光伏能源(烟台)有限公司申请人地址
山东省烟台市福山区英特尔大道22号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人通用光伏能源(烟台)有限公司当前权利人通用光伏能源(烟台)有限公司
发明人臧晓丹;李昌龄;唐维泰
代理机构烟台双联专利事务所(普通合伙)代理人梁翠荣
摘要
本发明公开了一种以无机盐为前驱物LPCVD技术制备透明导电氧化物薄膜玻璃的方法,包括玻璃清洗、光学检测、镀膜、性能检测、成品制成5个步骤,其镀膜方式为:将制备透明导电氧化物薄膜的金属无机盐前驱物配制成澄清饱和水溶液,利用鼓泡器和载气N2将其溶液载入到LPCVD镀膜室中,控制无机盐前驱物与N2的流量比、镀膜室中的压力、镀膜室温度及玻璃基底温度,在玻璃基底上沉积生成透明导电氧化物薄膜。本发明以金属无机盐代替有机前驱物制备透明导电氧化物薄膜玻璃,避免了有机物对膜层的污染,保证了镀膜玻璃的优异性能,易于产业化,为透明导电氧化物薄膜玻璃的发展提供了一种新思路。

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