一种透射电镜样品的电化学清洗及减薄方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201910774533.8
IPC分类号：G01N1/28;G01N1/34;G01N1/44
申请日期：
2019-08-21
申请人：
西安交通大学;中国工程物理研究院核物理与化学研究所

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著录项信息

专利名称	一种透射电镜样品的电化学清洗及减薄方法
申请号	CN201910774533.8	申请日期	2019-08-21
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2019-11-29	公开/公告号	CN110514493A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N1/28 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N1/00 取样；制备测试用的样品（用于自动分析的材料处理入G01N 35/00） G01N1/28 测试用样品的制备（将样品安装在显微镜载片上入G02B 21/34；电子显微镜中支承被分析的物品或材料的装置入H01J 37/20）	IPC分类号	G;0;1;N;1;/;2;8;;;G;0;1;N;1;/;3;4;;;G;0;1;N;1;/;4;4查看分类表>
申请人	西安交通大学;中国工程物理研究院核物理与化学研究所	申请人地址	陕西省西安市咸宁西路28号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	西安交通大学,中国工程物理研究院核物理与化学研究所	当前权利人	西安交通大学,中国工程物理研究院核物理与化学研究所
发明人	卢晨阳;申华海
代理机构	西安通大专利代理有限责任公司	代理人	李鹏威

摘要

本发明公开了一种透射电镜样品的电化学清洗及减薄方法，包括以下步骤：采用聚焦离子束方法从待研究材料的表面定位制备出矩形薄片试样；对矩形薄片试样进行逐级减薄；配置电解液，再将该电解液放置于烧杯A中，然后将烧杯A放置于盛有甲醇的容器A中，通过磁转子使电解液混合均匀；向烧杯A中放入金属框，直流电源的一端与金属框相连接，直流电源的另一端经电源开关与金属镊子相连接；将矩形薄片试样夹持于金属镊子上；将金属镊子放入金属框内部的区域，同时开启脉冲控制器，通过直流电源对矩形薄片试样进行脉冲电化学清洗及减薄；将矩形薄片试样进行清洗，然后进行烘烤，该方法得到的透射电镜样品的厚度较薄，且清洁无污染。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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