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*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

液体连续供应装置

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201220748816.9
  • IPC分类号:F17D1/14
  • 申请日期:
    2012-12-31
  • 申请人:
    中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
著录项信息
专利名称液体连续供应装置
申请号CN201220748816.9申请日期2012-12-31
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号F17D1/14IPC分类号F;1;7;D;1;/;1;4查看分类表>
申请人中芯国际集成电路制造(北京)有限公司申请人地址
北京市大兴区北京经济技术开发区(亦庄)文昌大道18号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中芯国际集成电路制造(北京)有限公司当前权利人中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
发明人陈枫;熊世伟
代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)代理人屈蘅;李时云
摘要
本实用新型提供的液体连续供应装置,包括至少三个溶液供应单元,每个所述溶液供应单元包括一溶液瓶、两根接口管、两个控制阀以及两根连接管,所述溶液瓶的两侧底部开设通孔并在该通孔处分别密封安装所述接口管的一端,所述接口管的另一端分别通过控制阀与所述连接管的一端密封连接,不同溶液供应单元的连接管可拆卸式连接。本实用新型根据需要实现液体的连续供应。此外,由于溶液瓶的体积小,使得搬运更加方便。另外,通过设置手推车,可以使得三个溶液供应单元的运输更加方便,从而,有效降低劳动强度,提高生产效率。

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