基于柔性紫外压模的曲面基底多相位微光学元件加工方法

发明专利无效专利

申请号：
CN200810063983.8
IPC分类号：G03F7/00;G03F7/20;G02B1/02
申请日期：
2008-02-04
申请人：
哈尔滨工业大学

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著录项信息

专利名称	基于柔性紫外压模的曲面基底多相位微光学元件加工方法
申请号	CN200810063983.8	申请日期	2008-02-04
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2008-07-16	公开/公告号	CN101221358
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F7/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F7/00 图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L 21/00，H05K）〔3，5〕	IPC分类号	G;0;3;F;7;/;0;0;;;G;0;3;F;7;/;2;0;;;G;0;2;B;1;/;0;2查看分类表>
申请人	哈尔滨工业大学	申请人地址	黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	哈尔滨工业大学	当前权利人	哈尔滨工业大学
发明人	金鹏;刘楠;朱鹏;谭久彬
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

基于柔性紫外压模的曲面基底多相位微光学元件加工方法涉及微光学元件制作技术；该方法增加了以聚合物结构为掩模，应用干法刻蚀技术在基片上获得浮雕结构步骤，完成微细结构向硬质基板表面的图形传递，并且在压印步骤中，软压印模在压印过程所外加的预压力作用下发生弹性形变而弯曲成与被加工表面相近的形状，且变形量的大小可通过有限元仿真的方法计算得到，母板制作步骤中的压模母板表面微细结构的形貌与尺寸需要针对该形变量的大小对进行补偿设计，应用该方法可以实现单一材料曲面基底非聚合物硬质光学材料微光学元件的加工制作。

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