实现射频阻抗匹配的方法及射频阻抗匹配系统

发明专利无效专利

申请号：
CN200710120494.7
IPC分类号：--
申请日期：
2007-08-20
申请人：
清华大学;北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	实现射频阻抗匹配的方法及射频阻抗匹配系统
申请号	CN200710120494.7	申请日期	2007-08-20
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2009-02-25	公开/公告号	CN101374381
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	清华大学;北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司	申请人地址	北京市海淀区清华园变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	清华大学,北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司	当前权利人	清华大学,北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
发明人	王焕钢;徐文立;李辉;王宁;申浩南;武晔
代理机构	北京凯特来知识产权代理有限公司	代理人	赵镇勇

摘要

本发明公开了一种实现射频阻抗匹配的方法及射频阻抗匹配系统，将匹配网络的输入导纳与射频源的输出导纳进行比较，并根据比较的结果对所述匹配网络的输入阻抗进行调整，实现阻抗匹配控制。阻抗检测器检测匹配网络的输入导纳，控制器采用导纳实部和虚部误差来控制调谐元件的调整，利用匹配网络输入导纳的实部和虚部与调谐元件间的特殊关系，串联支路的调谐元件不受并联支路调谐元件的影响，可以分别进行调整，可通过解耦控制算法实现系统阻抗匹配，算法简单、容易实现，匹配过程迅速、匹配系统可靠。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供