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沟槽绝缘栅场效应晶体管

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200480035225.5
  • IPC分类号:H01L29/78;H01L29/10;H01L29/41;H01L29/423
  • 申请日期:
    2004-11-26
  • 申请人:
    皇家飞利浦电子股份有限公司
著录项信息
专利名称沟槽绝缘栅场效应晶体管
申请号CN200480035225.5申请日期2004-11-26
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2006-12-27公开/公告号CN1886837
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L29/78
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;9;/;7;8;;;H;0;1;L;2;9;/;1;0;;;H;0;1;L;2;9;/;4;1;;;H;0;1;L;2;9;/;4;2;3查看分类表>
申请人皇家飞利浦电子股份有限公司申请人地址
荷兰艾恩德霍芬 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人NXP股份有限公司当前权利人NXP股份有限公司
发明人R·J·E·许廷
代理机构中科专利商标代理有限责任公司代理人王波波
摘要
本发明涉及具有漏极(8)、子沟道区(10)、主体(12)和源极(14)的沟槽MOSFET。子沟道区掺杂为与主体(12)相同的导电类型,但具有较低的掺杂密度。提供与子沟道区(10)相邻的场板电极(34)以及紧接于主体(12)的栅电极(32)。

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