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单空间模低发散角窄线宽复合光子晶体激光器

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201811413062.X
  • IPC分类号:H01S5/10;H01S5/22;H01S5/34
  • 申请日期:
    2018-11-23
  • 申请人:
    中国科学院半导体研究所
著录项信息
专利名称单空间模低发散角窄线宽复合光子晶体激光器
申请号CN201811413062.X申请日期2018-11-23
法律状态实质审查申报国家暂无
公开/公告日2019-03-01公开/公告号CN109412015A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01S5/10IPC分类号H;0;1;S;5;/;1;0;;;H;0;1;S;5;/;2;2;;;H;0;1;S;5;/;3;4查看分类表>
申请人中国科学院半导体研究所申请人地址
北京市海淀区清华东路甲35号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国科学院半导体研究所当前权利人中国科学院半导体研究所
发明人郑婉华;陈忠浩;赵少宇;周旭彦;渠红伟;齐爱谊
代理机构中科专利商标代理有限责任公司代理人任岩
摘要
本发明公开了一种单空间模低发散角窄线宽复合光子晶体激光器,包括:一外延结构;一脊波导结构及侧向耦合光子晶体,制作于上述外延结构表面;一介质层,制作于上述脊波导结构及侧向耦合光子晶体表面,其中脊波导上的介质层需要去除,用于实现电流注入;一P型电极,制作于P型脊波导及介质层上;以及一N型电极,制作于外延结构下方;其中,外延结构中引入了光子晶体结构。该光子晶体结构在保证激光器在单模工作的同时降低器件的垂直发散角,进而提高光纤耦合效率并降低光纤耦合成本及其系统复杂性;此外,该光子晶体结构还能提高器件的单管出光功率,该激光器只需一次外延和普通光刻技术即可实现窄线宽输出,制备简单,工艺成本低。

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