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一种用于浸没式光刻机的流体限制机构

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201410024987.0
  • IPC分类号:G03F7/20
  • 申请日期:
    2014-01-20
  • 申请人:
    上海微电子装备有限公司
著录项信息
专利名称一种用于浸没式光刻机的流体限制机构
申请号CN201410024987.0申请日期2014-01-20
法律状态驳回申报国家中国
公开/公告日2015-07-22公开/公告号CN104793466A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人上海微电子装备有限公司申请人地址
上海市浦东新区张东路1525号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海微电子装备(集团)股份有限公司当前权利人上海微电子装备(集团)股份有限公司
发明人赵丹平;聂宏飞;张洪博;张崇明
代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)代理人屈蘅;李时云
摘要
本发明提供一种用于浸没式光刻机的流体限制机构,所述用于浸没式光刻机的流体限制机构在原有流体限制机构中增加了浸液密封装置,该浸液密封装置通过开口向外吹气,在流体限制机构与投影物镜之间形成空气射流,在自由液面上方,形成了阻挡外界空气接触自由液面的气“帘”,防止了由于浸液接触到外界空气,而影响浸没式光刻机曝光质量的情况。

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