TSV圆片级封装的三轴MEMS加速度计

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201420535793.2
IPC分类号：G01P15/125
申请日期：
2014-09-17
申请人：
安徽北方芯动联科微系统技术有限公司

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专利名称	TSV圆片级封装的三轴MEMS加速度计
申请号	CN201420535793.2	申请日期	2014-09-17
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01P15/125 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01P 线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量；运动的存在或不存在的指示；运动的方向的指示（利用陀螺效应测量角速率入G01C 19/00；用于测量两个或多个运动变量的组合测量设备入G01C 23/00；声速测量入G01H 5/00；光速测量入G01J 7/00；通过无线电波或其他波的反射或再辐射，且基于传播效应（例如多普勒效应）、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S；核辐射速度的测量入G01T） G01P15/00 测量加速度；测量减速度；测量冲击即加速度的突变 G01P15/02 利用惯性力（G01P 15/14优先）〔1，7，2013.01〕 G01P15/08 用变换成电或磁量 G01P15/125 应用电容变送器〔3〕	IPC分类号	G;0;1;P;1;5;/;1;2;5查看分类表>
申请人	安徽北方芯动联科微系统技术有限公司	申请人地址	安徽省蚌埠市财院路10号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	安徽北方芯动联科微系统技术有限公司	当前权利人	安徽北方芯动联科微系统技术有限公司
发明人	华亚平
代理机构	蚌埠鼎力专利商标事务所有限公司	代理人	王琪;牛涛

摘要

本实用新型公开了TSV圆片级封装的三轴MEMS加速度计，由密封在同一密封腔中，且相互独立的X轴结构、Y轴结构和Z轴结构组成，三个轴结构都固定在中心TSV上，三轴结构的可动质量块的电信号通过MEMS中心锚点连接在一起，并通过中心TSV从密封腔内引出，X轴结构和Y轴结构的固定电极通过隔离块分别与X可动质量块、Y可动质量块电隔离；X轴结构和Y轴结构利用可动电极和固定电极的侧面作为感应电容，Z轴结构利用可动质量块和Z轴固定电极作为感应电容。本实用新型将X、Y、Z三轴结构固定在同一中心TSV上，由产品使用过程中温度变化引起的机械应力小、性能好、成本低、市场竞争力强。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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