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工件传送系统和方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200980124943.2
  • IPC分类号:H01L21/677
  • 申请日期:
    2009-06-30
  • 申请人:
    株式会社爱发科
著录项信息
专利名称工件传送系统和方法
申请号CN200980124943.2申请日期2009-06-30
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2011-06-15公开/公告号CN102099907A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/677IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7;7查看分类表>
申请人株式会社爱发科申请人地址
日本神奈川县 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人株式会社爱发科当前权利人株式会社爱发科
发明人P·戴尔蒙德
代理机构上海专利商标事务所有限公司代理人茅翊忞
摘要
一种双自动机械传送系统,包括:用于将工件传送入处理模块和从处理模块传送出的传送模块;在传送模块与供给-接受系统之间的物理接口;大致位于传送模块内用于将工件传送到处理模块和位于传送模块内的缓冲工位并从处理模块和位于传送模块内的缓冲工位传送工件的第一自动机械,第一自动机械包括第一顶臂和第一底臂,第一顶臂和第一底臂大致具有第一移动范围;以及大致位于传送模块内用于将工件传送到处理模块、缓冲工位以及物理接口并从处理模块、缓冲工位以及物理接口传送工件的第二自动机械,第二自动机械包括第二顶臂和第二底臂,第二顶臂和第二底臂大致具有第二移动范围,第二移动范围部分地与第一移动范围重叠。

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