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等离子体装置、等离子体生成方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201880091211.7
IPC分类号：H05H1/32;H05H1/26
申请日期：
2018-03-20
申请人：
株式会社富士

基础信息

权利要求

说明书

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	等离子体装置、等离子体生成方法
申请号	CN201880091211.7	申请日期	2018-03-20
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2020-11-03	公开/公告号	CN111886934A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H05H1/32 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H05 其他类目不包含的电技术 H05H 等离子体技术（离子束管入H01J 27/00；磁流体发电机入H02K 44/08；涉及生成等离子体的产生X射线的入H05G 2/00）；加速的带电粒子或中子的产生（从放射源获取中子的入G21，例如：G21B，G21C，G21G）；中性分子或原子射束的产生或加速（原子钟入G04F 5/14；受激发射器件入H01S；通过与由分子、原子或亚原子粒子的能级所确定的基准频率相比较而进行频率调整的入H03L 7/26） H05H1/00 等离子体的产生；等离子体的处理（等离子体技术在热核聚变反应器的应用入G21B 1/00） H05H1/24 等离子体的产生〔2〕 H05H1/26 等离子体喷管〔2〕 H05H1/32 应用电弧的（H05H 1/28优先）〔3〕	IPC分类号	H;0;5;H;1;/;3;2;;;H;0;5;H;1;/;2;6查看分类表>
申请人	株式会社富士	申请人地址	日本爱知县知立市变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社富士	当前权利人	株式会社富士
发明人	神藤高广
代理机构	中原信达知识产权代理有限责任公司	代理人	暂无

摘要

本公开的课题是能够高效地生成等离子体。在本公开的等离子体装置中，包括电介质屏障放电器和电弧放电器，在被供给用于生成等离子体的气体的放电空间内，在比电介质屏障放电器靠下游侧处设置电弧放电器。在电介质屏障放电器中发生电介质屏障放电，在电弧放电器中发生电弧放电。在电介质屏障放电中使用于生成等离子体的气体活性化，因此在电弧放电中能够使前述的气体良好地等离子体化。

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