微纳结构3D轮廓测量中基于坐标变换的倾斜误差补偿方法

发明专利有效专利

申请号：
CN200610015496.5
IPC分类号：G01B21/20;G01B11/24;G01N13/10
申请日期：
2006-08-30
申请人：
天津大学

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	微纳结构3D轮廓测量中基于坐标变换的倾斜误差补偿方法
申请号	CN200610015496.5	申请日期	2006-08-30
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2007-02-14	公开/公告号	CN1912540
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B21/20 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B21/00 不适合于本小类其他组中所列的特定类型计量装置的计量设备或其零部件〔3〕 G01B21/20 用于计量轮廓或曲率，例如测定外形〔3〕	IPC分类号	G;0;1;B;2;1;/;2;0;;;G;0;1;B;1;1;/;2;4;;;G;0;1;N;1;3;/;1;0查看分类表>
申请人	天津大学	申请人地址	天津市南开区卫津路92号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	天津大学	当前权利人	天津大学
发明人	栗大超;黄玉波;傅星;胡小唐
代理机构	天津市北洋有限责任专利代理事务所	代理人	江镇华

摘要

一种微纳结构3D轮廓测量中基于坐标变换的倾斜误差补偿方法，是由如下过程完成的：1.采集被测物表面干涉图，得到被测物表面初始轮廓图；2.确定被测物的基准平面；3.进行坐标系旋转，使新坐标系的XOY平面与基准平面平行，重构被测物表面3D轮廓。确定被测物的基准平面，是使用最小二乘法确定调平表面轮廓的基准平面，包括有最小二乘中线法和面内最小二乘法。本发明计算量小，使用简单，处理效率高；最大限度地避免了轮廓的变形；不仅可用于相移显微干涉系统的测量应用中，也可以用于其他测量MEMS/NEMS表面3D轮廓的技术的图像处理中；可以根据不同应用的需求，选择不同的面作为基准，得到不同视角的表面三维轮廓信息，运用灵活。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供