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含光刻胶的废液的处理

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN87105308
  • IPC分类号:--
  • 申请日期:
    1987-07-23
  • 申请人:
    住友重机械工业株式会社
著录项信息
专利名称含光刻胶的废液的处理
申请号CN87105308申请日期1987-07-23
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日1988-02-03公开/公告号CN87105308
优先权暂无优先权号暂无
主分类号暂无IPC分类号暂无查看分类表>
申请人住友重机械工业株式会社申请人地址
日本东京 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人住友重机械工业株式会社当前权利人住友重机械工业株式会社
发明人三木康平;斋藤博
代理机构中国国际贸易促进委员会专利代理部代理人徐汝巽;段承恩
摘要
自印刷电路板制造业、印刷业、半导体制造业以及其他使用光刻胶的工业排放的含光刻胶的废液的处理,是将废液进行特定性能的超滤,以便分离高分子量的有机废料,从再循环或回收的渗透液的有效组分中弃掉,产生有效的工序。本发明提供溶有光刻胶的废液处理方法是将溶有光刻胶的废液用特定性能的超滤进行浓缩,然后将其用辐射或热能进行聚合或固化,产生含有聚合物和水的固化物质。其能量是通过燃烧所得到的固化物质而取得的。

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