高通量半导体加工应用的体系结构

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201220514603.X
IPC分类号：H01L21/67
申请日期：
2012-10-09
申请人：
宋坡玲

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著录项信息

专利名称	高通量半导体加工应用的体系结构
申请号	CN201220514603.X	申请日期	2012-10-09
法律状态	权利终止	申报国家	暂无
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/67 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/67 专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置〔8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;7查看分类表>
申请人	宋坡玲	申请人地址	变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海朗达电缆（集团）有限公司	当前权利人	上海朗达电缆（集团）有限公司
发明人	宋坡玲
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

一种高通量半导体加工应用的体系结构。包括：蜂窝形结构，高效电流流通管，其特征是：采用了仿生物学原理通过蜂窝式的结构构造，高效电流流通管被安装于蜂窝形结构内。蜂窝式结构的优势在于结构稳固且美观，同时具有高通量的实用性，大大提高了工作效率，并且其结构摒弃了反复的工作零件，在结构上一目了然更便于维修，从而也就实现了设计精良拆卸简便的目的，大大提高了半导体加工应用体系的工作性能，更加符合市场需求，使用前景更加广阔。

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