基于MEMS的电容传感器

发明专利有效专利

申请号：
CN200980151747.4
IPC分类号：G01V1/18;G01V1/16;G01V1/28;G01P15/00;B81B7/00
申请日期：
2009-11-06
申请人：
格库技术有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	基于MEMS的电容传感器
申请号	CN200980151747.4	申请日期	2009-11-06
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2011-11-30	公开/公告号	CN102265184A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01V1/18 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01V 地球物理；重力测量；物质或物体的探测；示踪物（用于指示因事故被掩埋的人的位置，例如，被雪掩埋的人的位置的装置入A63B 29/02）〔4，6〕 G01V1/00 地震学；地震或声学的勘探或探测 G01V1/16 地震信号的接收元件；接收元件的配置或改进 G01V1/18 接收元件，例如，地震仪、地震检波器〔2〕	IPC分类号	G;0;1;V;1;/;1;8;;;G;0;1;V;1;/;1;6;;;G;0;1;V;1;/;2;8;;;G;0;1;P;1;5;/;0;0;;;B;8;1;B;7;/;0;0查看分类表>
申请人	格库技术有限公司	申请人地址	荷兰格雷文海格变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	格库技术有限公司	当前权利人	格库技术有限公司
发明人	H·保尔森
代理机构	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所	代理人	陈华成

摘要

一种装置包括包含加速度计的地震采集系统。所述加速度计包括基于MEMS的电容传感器、控制器和电荷放大器。所述传感器包括检测质量、接收第一信号的输入端、以及与检测质量电连接以提供第二信号的输出端。由控制器调控的第一信号控制用于传感器的平衡恢复力并且使传感器提供第二信号。所述电荷放大器提供指示检测质量的位置的第三信号。电荷放大器具有在第一信号控制平衡恢复力并且使传感器提供第二信号期间内连续接收第二信号的输入端。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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