一种OLED制备装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202022312249.X
IPC分类号：H01L51/56;C23C14/24;C23C14/04
申请日期：
2020-10-16
申请人：
江苏集萃有机光电技术研究所有限公司

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著录项信息

专利名称	一种OLED制备装置
申请号	CN202022312249.X	申请日期	2020-10-16
法律状态	授权	申报国家	暂无
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L51/56 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L51/20 （转入H01L 51/05，H01L 51/42，H01L 51/50） H01L51/50 专门适用于光发射的，如有机发光二极管（OLED）或聚合物发光器件（PLED）（有机半导体激光器入 H01S 5/36）〔8〕 H01L51/56 专门适用于制造或处理这种器件或其部件的方法或设备〔8〕	IPC分类号	H;0;1;L;5;1;/;5;6;;;C;2;3;C;1;4;/;2;4;;;C;2;3;C;1;4;/;0;4查看分类表>
申请人	江苏集萃有机光电技术研究所有限公司	申请人地址	江苏省苏州市吴江区黎里镇汾湖大道1198号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	江苏集萃有机光电技术研究所有限公司	当前权利人	江苏集萃有机光电技术研究所有限公司
发明人	廖良生;黄稳;武启飞;李涛
代理机构	北京品源专利代理有限公司	代理人	胡彬

摘要

本实用新型涉及蒸镀设备领域，公开一种OLED制备装置。所述OLED制备装置包括存储单元、搬运单元和至少一个蒸镀单元，存储单元包括高度可调的存放架，存放架用于分层存放玻璃基片和掩膜板；蒸镀单元包括基片样品架，基片样品架用于将玻璃基片和掩膜板对位贴合或分离；搬运单元用于将存储单元内的玻璃基片或掩膜板可选择地搬运至一个蒸镀单元的基片样品架上。本实用新型提供的OLED制备装置，成膜种类多样化，能够同时满足多种镀膜工艺的需求。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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