石英舟或石英管表面镀膜的方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202111090851.6
IPC分类号：C03C17/00
申请日期：
2021-09-16
申请人：
安徽光智科技有限公司

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著录项信息

专利名称	石英舟或石英管表面镀膜的方法
申请号	CN202111090851.6	申请日期	2021-09-16
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2021-11-16	公开/公告号	CN113651542A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C03C17/00 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C03 玻璃；矿棉或渣棉 C03C 玻璃、釉或搪瓷釉的化学成分；玻璃的表面处理；由玻璃、矿物或矿渣制成的纤维或细丝的表面处理；玻璃与玻璃或与其他材料的接合 C03C17/00 纤维或丝之外玻璃，例如微晶玻璃的涂覆法表面处理	IPC分类号	C;0;3;C;1;7;/;0;0查看分类表>
申请人	安徽光智科技有限公司	申请人地址	安徽省滁州市琅琊区琅琊经济开发区内永阳路以东、南京路以西、安庆路以北、六安路以南变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	安徽光智科技有限公司	当前权利人	安徽光智科技有限公司
发明人	牛晓东;赵青松;狄聚青;顾小英
代理机构	北京五洲洋和知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	张向琨

摘要

本公开提供一种石英舟或石英管表面镀膜的方法，包括以下步骤：步骤一，用液态SiCl4和纯水配置SiCl4溶液：敞口pp槽装纯水，液态SiCl4分批加入纯水中，每次加入后搅拌均匀，液态SiCl4全部加完后静止后搅拌均匀，完成配置溶液；步骤二，将待镀石英舟或石英管腐蚀处理后洗净，氮气吹干；步骤三，将吹干的石英舟或石英管浸入SiCl4溶液中，捞出沥干，固定在可旋转装置上；步骤四，启动可旋转装置，点燃氢氧焰，使外焰煅烧；步骤五，将煅烧后的石英舟或石英管放置于管式炉内，通氢气或氮气；步骤六，使用可移动电阻加热器加热，电阻加热器从石英舟或石英管头部开始加热并移动到尾部，后关闭加热，冷却；步骤七，重复步骤六4次～8次，取出，完成镀膜。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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