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基板处理装置和检查方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201910935053.5
  • IPC分类号:H01L21/027;H01L21/67
  • 申请日期:
    2019-09-29
  • 申请人:
    东京毅力科创株式会社
著录项信息
专利名称基板处理装置和检查方法
申请号CN201910935053.5申请日期2019-09-29
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2020-04-14公开/公告号CN111009460A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/027IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;0;2;7;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7查看分类表>
申请人东京毅力科创株式会社申请人地址
日本东京都 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人东京毅力科创株式会社当前权利人东京毅力科创株式会社
发明人滨田佳志;桾本裕一朗;羽山隆史;水篠真一
代理机构北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)代理人刘新宇
摘要
本发明提供一种使摄像图像的质量提高的基板处理装置和检查方法,所述摄像图像在利用对被处理基板进行处理的基板处理装置进行处理时的检查中使用。对被处理基板进行处理的基板处理装置具有:旋转保持部,其保持被处理基板并使该被处理基板旋转;摄像部,该摄像部的摄像区域包括将被所述旋转保持部保持的被处理基板的表面;光源,其向所述摄像部的所述摄像区域照射光;以及控制部,其基于被所述旋转保持部保持的正在旋转的被处理基板的朝向,来控制基于所述摄像部的摄像结果进行的检查中的所述光源的发光定时。

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