大行程高精度二维工作台

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专利名称	大行程高精度二维工作台
申请号	CN200620072502.6	申请日期	2006-04-12
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G12B5/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G2 核子学 G12 仪器的零部件 G12B 仪器的结构零部件，或未列入其他类目的其他设备的类似零部件 G12B5/00 仪器或其他设备或其部件的位置或状态的调整，例如，水平调整；倾斜或加速影响的补偿，例如，用于光学仪器的	IPC分类号	G;1;2;B;5;/;0;0;;;G;1;2;B;9;/;1;0;;;B;2;5;H;1;/;0;0查看分类表>
申请人	合肥工业大学	申请人地址	安徽省合肥市屯溪路193号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	合肥工业大学	当前权利人	合肥工业大学
发明人	余晓芬;奚琳;黄斌
代理机构	安徽省合肥新安专利代理有限责任公司	代理人	何梅生

摘要

大行程高精度二维工作台，其特征是采用复合式磁浮－滑动导轨，设置二维移动工作台的顶部导向面与测量光栅的测量面相重合的结构形式，设置驱动区和工作区二级隔离。本实用新型能同时适应高低速运动、适应高加速度、减小阿贝误差的影响以及能有效隔离拨爪驱动器产生的正压力和振动对工作台的影响。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

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