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一种可调节磁靴的磁控溅射靶

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201110362599.X
  • IPC分类号:C23C14/35
  • 申请日期:
    2011-11-16
  • 申请人:
    东莞市润华光电有限公司
著录项信息
专利名称一种可调节磁靴的磁控溅射靶
申请号CN201110362599.X申请日期2011-11-16
法律状态撤回申报国家暂无
公开/公告日2012-02-15公开/公告号CN102352486A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/35IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;3;5查看分类表>
申请人东莞市润华光电有限公司申请人地址
广东省东莞市大朗镇松木山村象山工业园嘉源路17号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人东莞市润华光电有限公司当前权利人东莞市润华光电有限公司
发明人邹定嵩;周学卿
代理机构暂无代理人暂无
摘要
本发明公开了一种可调节磁靴的磁控溅射靶,包括有阴极座、磁靴、磁靴连接块,磁靴装在阴极座上,磁靴连接块连接着分离磁靴,其特征在于:磁靴分离三段并排,中间一段为可调节磁靴。本发明由于磁靴分离式可调结构,调动中间磁靴可以增强中间磁场强度,不会减小两端的磁场强度,解决镀膜厚度均匀性问题;同时能够在镀AR膜时,少靶位的情况下使用一对Nb2O5靶位,而把原来的部分Nb2O5靶位换成多晶硅靶位提高生产效率,增大产能。

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