光栅衍射效率光谱测量装置和测量方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201611039171.0
IPC分类号：G01M11/02;G01J3/30
申请日期：
2016-11-21
申请人：
中国科学院上海光学精密机械研究所

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著录项信息

专利名称	光栅衍射效率光谱测量装置和测量方法
申请号	CN201611039171.0	申请日期	2016-11-21
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2017-04-26	公开/公告号	CN106596058A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01M11/02 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01M 机器或结构部件的静或动平衡的测试；其他类目中不包括的结构部件或设备的测试 G01M11/00 光学设备的测试；其他类目未包括的用光学方法测试结构部件 G01M11/02 光学性质的测试	IPC分类号	G;0;1;M;1;1;/;0;2;;;G;0;1;J;3;/;3;0查看分类表>
申请人	中国科学院上海光学精密机械研究所	申请人地址	上海市嘉定区上海市800－211邮政信箱变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院上海光学精密机械研究所	当前权利人	中国科学院上海光学精密机械研究所
发明人	刘世杰;王圣浩;王微微;倪开灶;徐天柱;鲁棋;潘本威
代理机构	上海新天专利代理有限公司	代理人	张泽纯

摘要

一种用于平面光栅的光栅衍射效率光谱测量装置和测量方法，测量装置主要包括激光光源、单色器、光阑、偏振片、分束镜、待测光栅、光电探测器、正弦机械结构和电子学控制等部分。本发明的优点是：(1)显著提高了光栅衍射效率光谱的测量速度，可以实现光栅衍射效率光谱的快速测量，如应用于观测光栅衍射效率光谱特性在温度、湿度以及激光辐照损伤等环境因素下的动态变化过程；(2)在测量过程中，仪器的机械构件始终保持匀速运动状态，测试系统因而具有较高的机械稳定性；(3)测量仪器具有较高的工作效率。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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