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取晶用晶元蓝膜张紧机构

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202011606211.1
  • IPC分类号:H01L21/683
  • 申请日期:
    2020-12-30
  • 申请人:
    江苏新智达新能源设备有限公司
著录项信息
专利名称取晶用晶元蓝膜张紧机构
申请号CN202011606211.1申请日期2020-12-30
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-04-27公开/公告号CN112713116A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/683IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;8;3查看分类表>
申请人江苏新智达新能源设备有限公司申请人地址
江苏省无锡市梁溪区会北路26-14 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人江苏新智达新能源设备有限公司当前权利人江苏新智达新能源设备有限公司
发明人向军;封浩;冯霞霞;王金磊
代理机构南京中高专利代理有限公司代理人陈章
摘要
本发明提供了一种取晶用晶元蓝膜张紧机构,包括机架和支撑环,所述机架包括沿水平方向设置的安装板,所述安装板中开设有安装孔,所述支撑环转动安装在所述安装孔中,所述支撑环的转动轴心沿竖直方向设置,所述支撑环中设有用于放置晶元蓝膜的扩晶环,所述支撑环的上方设有半分环,所述半分环的数量为二个,二个所述半分环通过竖直调节机构安装在所述支撑环上,通过设置扩晶环和半分环,将晶元蓝膜放置在扩晶环上,竖直调节机构驱动半分环下移并下压晶元蓝膜,使得晶元蓝膜的中部张紧在扩晶环上,进而能够避免晶元蓝膜过于松弛影响取晶精度。

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