一种氧化锡薄膜的制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201410105524.7
IPC分类号：C03C17/23;C01G19/02;C04B41/85
申请日期：
2014-03-20
申请人：
扬州明晟新能源科技有限公司

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著录项信息

专利名称	一种氧化锡薄膜的制备方法
申请号	CN201410105524.7	申请日期	2014-03-20
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2014-07-23	公开/公告号	CN103936059A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C03C17/23 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C03 玻璃；矿棉或渣棉 C03C 玻璃、釉或搪瓷釉的化学成分；玻璃的表面处理；由玻璃、矿物或矿渣制成的纤维或细丝的表面处理；玻璃与玻璃或与其他材料的接合 C03C17/00 纤维或丝之外玻璃，例如微晶玻璃的涂覆法表面处理 C03C17/22 用其他的无机材料（C03C 17/34、C03C 17/44优先）〔3〕 C03C17/23 氧化物（C03C 17/02优先）〔3〕	IPC分类号	C;0;3;C;1;7;/;2;3;;;C;0;1;G;1;9;/;0;2;;;C;0;4;B;4;1;/;8;5查看分类表>
申请人	扬州明晟新能源科技有限公司	申请人地址	江苏省扬州市高邮市城南新区变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	扬州明晟新能源科技有限公司	当前权利人	扬州明晟新能源科技有限公司
发明人	张卫华;高中明;陈源清
代理机构	扬州市锦江专利事务所	代理人	江平

摘要

一种氧化锡薄膜的制备方法，属于薄膜制备技术领域，本发明以锑的氟化物为掺杂源、以锡的氯化物为出发原料，经混合雾化后沉积在耐高温基板表面，以此形成一种透明且具有良好功能性的氧化锡薄膜，其氟-锑共掺杂，通过在SnO2晶体结构中，氟离子替代部分氧离子位置、锑离子替代部分锡离子位置进行掺杂，形成更高的载流子密度，从而具有比单一氟掺杂或单一锑掺杂更优越的导电性、气氛敏感性、透过率等，是一种极具优势、潜力的半导体功能薄膜材料。

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