离子源清洁装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202022700700.5
IPC分类号：B08B1/00;B08B13/00;H01J49/02
申请日期：
2020-11-20
申请人：
安图实验仪器（郑州）有限公司

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著录项信息

专利名称	离子源清洁装置
申请号	CN202022700700.5	申请日期	2020-11-20
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B08B1/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B08 清洁 B08B 一般清洁；一般污垢的防除（刷子入A46；家庭或类似清洁装置入A47L；颗粒从液体或气体中分离入B01D；固体分离入B03，B07；一般对表面喷射或涂敷液体或其他流体材料入B05；用于输送机的清洗装置入B65G 45/10；对瓶子同时进行清洗、灌注和封装的入B67C 7/00；一般腐蚀或积垢的防止入C23；街道、永久性道路、海滨或陆地的清洗入E01H；专门用于游泳池或仿海滨浴场浅水池或池子的部件、零件或辅助设备清洁的入E04H 4/16；防止或清除静电荷入H05F） B08B1/00 利用工具，刷子或类似工具的清洁方法（B08B 3/12，B08B 6/00，B08B 9/00优先）〔2〕	IPC分类号	B;0;8;B;1;/;0;0;;;B;0;8;B;1;3;/;0;0;;;H;0;1;J;4;9;/;0;2查看分类表>
申请人	安图实验仪器（郑州）有限公司	申请人地址	河南省郑州市经济技术开发区第十五大街199号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	安图实验仪器（郑州）有限公司	当前权利人	安图实验仪器（郑州）有限公司
发明人	韩乐乐;吴云昭;尚元贺;张亚芳;李向广;蔡克亚;张瑞峰
代理机构	郑州异开专利事务所（普通合伙）	代理人	韩华

摘要

本实用新型公开了一种离子源清洁装置，包括安装单元，具有一上安装面和一下安装面；弹性清洁单元，设置在安装单元的上安装面上；以及连接单元，使下安装面紧贴在质谱仪的靶板安装槽内；其中，当离子源清洁装置移动至质谱仪的离子源下方时，弹性清洁单元的上表面抵在离子源的下表面并擦拭堆积在离子源上的残留离子。本实用新型的离子源清洁装置可卡装在靶板安装结构的靶板安装槽内，利用质谱仪的真空腔室内的既有结构（即XY移动平台）实现离子源清洁装置的水平往返移动，在水平往返移动时弹性清洁单元可反复擦拭离子源下部的电极，实现电极的清洁，整个清洁过程在可在真空腔室的原有的负压环境中进行，无需将真空腔室恢复至常压，缩短了清洁时间。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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