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感光性树脂组合物及干膜抗蚀剂

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201280046740.8
  • IPC分类号:G03F7/038;C08F291/06
  • 申请日期:
    2012-09-20
  • 申请人:
    新日铁住金化学株式会社
著录项信息
专利名称感光性树脂组合物及干膜抗蚀剂
申请号CN201280046740.8申请日期2012-09-20
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2014-06-04公开/公告号CN103842908A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/038IPC分类号G;0;3;F;7;/;0;3;8;;;C;0;8;F;2;9;1;/;0;6查看分类表>
申请人新日铁住金化学株式会社申请人地址
日本东京 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人新日铁住金化学株式会社当前权利人新日铁住金化学株式会社
发明人片山久史;稻叶真司;川边正直
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所代理人柳冀
摘要
提供了能够容易地形成可利用碱性水溶液进行显影、高敏感度,绝缘性、耐热性等诸特性以及介电性能优异的固化膜的感光性树脂组合物及干膜。该感光性树脂组合物含有(A)成分、(B)成分及(C)成分,(A)成分:对二乙烯基化合物(a)20~99摩尔%及单乙烯基化合物(b)80~1摩尔%进行共聚所获得的共聚物,侧链具有来自于二乙烯基化合物(a)的乙烯基的溶剂可溶性多官能乙烯基共聚物,(B)成分:含有使多元醇化合物与多元羧酸类反应所获得的含羧基共聚物(b)的碱可溶性树脂成分,及(C)成分:光引发剂,相对于(A)成分、(B)成分及(C)成分的总量,(A)成分为1~98.9wt%、(B)成分为98.9~1wt%、(C)成分为0.1~10wt%。

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