一种用于硅片加工的抛光机

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201921991593.7
IPC分类号：B24B7/22;B24B41/06;B24B47/12;B24B57/02;B24B41/02
申请日期：
2019-11-18
申请人：
宁波日晟新材料有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种用于硅片加工的抛光机
申请号	CN201921991593.7	申请日期	2019-11-18
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B24B7/22 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B24 磨削；抛光 B24B 用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F 3/00）；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给 B24B7/00 适用于磨削工件平面的机床或装置，包括抛光平面玻璃表面；及其附件（B24B 21/00优先；珩磨工件表面入B24B 33/055）〔4〕 B24B7/20 以被磨非金属制品的材料性质为特征专门设计的 B24B7/22 用于磨削无机材料，如石头，陶瓷，瓷器	IPC分类号	B;2;4;B;7;/;2;2;;;B;2;4;B;4;1;/;0;6;;;B;2;4;B;4;7;/;1;2;;;B;2;4;B;5;7;/;0;2;;;B;2;4;B;4;1;/;0;2查看分类表>
申请人	宁波日晟新材料有限公司	申请人地址	浙江省宁波市余姚市丈亭镇龙丰村变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	宁波日晟新材料有限公司	当前权利人	宁波日晟新材料有限公司
发明人	孙韬
代理机构	宁波知坤专利代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	朱玉泉

摘要

本实用新型公开了一种用于硅片加工的抛光机，使用时，将硅片放置在安装基座上，在启动升降气缸带动升降杆向下移动，进而带动第一交叉杆和第二交叉杆向下移动，上端板和下端板不仅能够将打磨盘调节到适当的位置，其本身也具有很好为稳定性，便于装置本体的使用；将下端板下端的打磨盘调节到合适的位置处后，在启动驱动电机带动安装基座在稳固座上进行转动，然后硅片自身也转动，通过稳固座上的嵌设柱能够使得安装基座稳固转动，使得硅片在打磨盘的下端稳定转动，便于提高硅片打磨的稳固性，此时将抛光液通过出液管和喷头进行喷洒，在安装基座转动的同时，能够带动硅片沿着打磨盘进行转动打磨，提高了打磨抛光的效率，经济实用，便于推广。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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