一种组合磁场的矩形平面阴极电弧蒸发源

发明专利有效专利

申请号：
CN201110425157.5
IPC分类号：C23C14/32;H01J37/32
申请日期：
2011-12-19
申请人：
东莞市汇成真空科技有限公司

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专利名称	一种组合磁场的矩形平面阴极电弧蒸发源
申请号	CN201110425157.5	申请日期	2011-12-19
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2012-07-04	公开/公告号	CN102534513A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/32 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/24 真空蒸发〔4〕 C23C14/32 爆炸法；蒸发及随后的气化物电离法（C23C 14/34至C23C 14/48优先）〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;3;2;;;H;0;1;J;3;7;/;3;2查看分类表>
申请人	东莞市汇成真空科技有限公司	申请人地址	广东省东莞市大岭山镇颜屋龙园路2号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	广东汇成真空科技股份有限公司	当前权利人	广东汇成真空科技股份有限公司
发明人	李志荣;李志方;罗志明;李秋霞
代理机构	广州知友专利商标代理有限公司	代理人	周克佑

摘要

本发明公开了一种组合磁场的矩形平面阴极电弧蒸发源，包括一矩形靶材平板，在靶材平板的正下方、间隔所述靶材平板一段距离处设有一中轴永磁体、四个端角永磁体和至少两个长圆形电磁线圈，所述电磁线圈沿所述靶材平板边缘平行环套设置且通过导线连接可调直流电源，其四个端角处分别设置有一所述端角永磁体，其中，最内侧的电磁线圈的内侧、沿其长轴方向设有所述中轴永磁体，所述中轴永磁体、端角永磁体和电磁线圈所形成的磁场的极性一致。本发明提供了一种无论磁化电流是否变化都能实现靶材利用率高、形成的膜层细腻的阴极电弧蒸发源。

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