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一种蒸发源装置

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201710252800.6
  • IPC分类号:C23C14/24;C23C14/12
  • 申请日期:
    2017-04-18
  • 申请人:
    武汉华星光电技术有限公司
著录项信息
专利名称一种蒸发源装置
申请号CN201710252800.6申请日期2017-04-18
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2017-08-18公开/公告号CN107058957A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/24IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;2;4;;;C;2;3;C;1;4;/;1;2查看分类表>
申请人武汉华星光电技术有限公司申请人地址
湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人武汉华星光电技术有限公司当前权利人武汉华星光电技术有限公司
发明人沐俊应
代理机构深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙)代理人黄威
摘要
本发明提供了一种蒸发源装置。该蒸发源装置包括本体以及加热构件;所述加热构件用于加热蒸镀材料形成蒸镀气体,所述本体设置有用于收容所述蒸镀气体的第一腔体;所述本体包括第一壁体,所述第一壁体的外壁面呈向所述第一腔体内弯曲的曲面状;所述第一壁体上设有一呈缝隙状的喷射口并与所述第一腔体连通,所述喷射口沿着所述第一壁体的弯曲方向弯曲分布,并将所述第一腔体内的蒸镀气体导出到外界。该方案通过弯曲型的缝隙状喷射口改变蒸镀气体流向,使其更多地沉积到基板上,提高材料利用率,同时,喷射口设计为缝隙状可降低堵孔风险,提高量产的稼动率。

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