基于智能数控平台的子孔径拼接激光干涉在线测量方法及系统

发明专利无效专利

申请号：
CN201310179320.3
IPC分类号：G01B11/24;G01B9/02
申请日期：
2013-05-15
申请人：
复旦大学

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著录项信息

专利名称	基于智能数控平台的子孔径拼接激光干涉在线测量方法及系统
申请号	CN201310179320.3	申请日期	2013-05-15
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2013-09-11	公开/公告号	CN103292727A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/24 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/24 用于计量轮廓或曲率	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;2;4;;;G;0;1;B;9;/;0;2查看分类表>
申请人	复旦大学	申请人地址	上海市杨浦区邯郸路220号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	复旦大学	当前权利人	复旦大学
发明人	王伟;徐敏
代理机构	上海正旦专利代理有限公司	代理人	陆飞;盛志范

摘要

本发明属于现代光学测量技术领域，具体为一种基于智能数控平台的子孔径拼接激光干涉在线测量系统及方法。该系统由工业机器人及其控制模块、驱动模块，瞬态干涉仪，拼接与数据分析系统，人机交互界面，工作台构成。原本工业机器人是通过安装于机器人腕部的抛光组件实现对光学元件的抛光。本发明运用瞬态干涉仪通过法兰盘按照和抛光头相同的基准要求安装在工业机器人手腕上，实现对工件表面各子孔径面形进行精密测量，并通过拼接与数据分析系统实现整个工件表面的面形测量。本发明造价低廉，通用性与便利性好，可实现对多种面形的在线测量。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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