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形状测量装置和移动机构

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201711408260.2
  • IPC分类号:G01B5/20
  • 申请日期:
    2017-12-22
  • 申请人:
    株式会社三丰
著录项信息
专利名称形状测量装置和移动机构
申请号CN201711408260.2申请日期2017-12-22
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2018-07-13公开/公告号CN108278957A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01B5/20IPC分类号G;0;1;B;5;/;2;0查看分类表>
申请人株式会社三丰申请人地址
日本神奈川县 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人株式会社三丰当前权利人株式会社三丰
发明人坂本正洋;大山良和;泷泽将人;竹迫康次
代理机构北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)代理人刘新宇;张会华
摘要
本发明涉及形状测量装置和移动机构。三维测量仪(形状测量装置)具有:工作台(3(第1构件))和立柱(41(第2构件)),其在预定的移动方向上相对移动;引导面(31),其形成于工作台(3),并具有在移动方向上延伸且互相平行的引导区域(311)和驱动区域(312);空气垫(11),其形成于立柱(41),并与引导区域(311)相对;以及驱动辊(19),其形成于立柱(41),并在驱动区域(312)滚动。

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