用于纳米压印的均匀旋涂设备

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201922466659.7
IPC分类号：B05C13/02;B05C11/08;B05C15/00
申请日期：
2019-12-31
申请人：
青岛天仁微纳科技有限责任公司

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著录项信息

专利名称	用于纳米压印的均匀旋涂设备
申请号	CN201922466659.7	申请日期	2019-12-31
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B05C13/02 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B05 一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕 B05C 一般对表面涂布液体或其他流体的装置（喷射装置、雾化装置、喷嘴入B05B；把液体或其他流体涂布于物体上的静电喷射装置入B05B 5/08）〔2〕 B05C13/00 操纵或夹持工件的方法，如对单个物体〔2〕 B05C13/02 对特殊物品〔2〕	IPC分类号	B;0;5;C;1;3;/;0;2;;;B;0;5;C;1;1;/;0;8;;;B;0;5;C;1;5;/;0;0查看分类表>
申请人	青岛天仁微纳科技有限责任公司	申请人地址	山东省青岛市城阳区长城路89号青岛博士创业园21A号楼407、408室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	青岛天仁微纳科技有限责任公司	当前权利人	青岛天仁微纳科技有限责任公司
发明人	冀然
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本实用新型提出一种用于纳米压印的均匀旋涂设备，包括：真空吸盘；电机，与真空吸盘的底部连接；基板夹具，位于真空吸盘上；其中，基板夹具包括：与真空吸盘上表面滑动连接的第一夹持部以及第二夹持部，第一夹持部与第二夹持部卡接并定位基板的中心与真空吸盘的中心重合于一点；真空吸盘上表面分别设有用于固定基板的基板固定部，以及用于固定基板夹具的夹具固定部，夹具固定部位于基板固定部外侧；在真空吸盘上表面上位于基板固定部的位置设有支撑部，支撑部的上表面与基板固定部以及夹具固定部的上表面平齐。本实用新型能对异形基板进行有效旋涂，使其基板表面各处胶液厚度均匀。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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