激活温度可控的非蒸散型薄膜吸气剂及其应用

发明专利有效专利

申请号：
CN201810063146.9
IPC分类号：B81B7/00;B81B7/02;B81C1/00
申请日期：
2018-01-23
申请人：
苏州大学

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法律信息

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著录项信息

专利名称	激活温度可控的非蒸散型薄膜吸气剂及其应用
申请号	CN201810063146.9	申请日期	2018-01-23
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2018-07-06	公开/公告号	CN108249386A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B81B7/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B8 微观结构技术；纳米技术 B81 微观结构技术〔7〕 B81B 微观结构的装置或系统，例如微观机械装置（压电元件、电致伸缩元件或磁致伸缩元件本身入H01L41/00）〔7〕 B81B7/00 微观结构系统〔7，2006.01〕	IPC分类号	B;8;1;B;7;/;0;0;;;B;8;1;B;7;/;0;2;;;B;8;1;C;1;/;0;0查看分类表>
申请人	苏州大学	申请人地址	江苏省苏州市吴中区吴中大道1188号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	苏州大学	当前权利人	苏州大学
发明人	吴鸣
代理机构	苏州市中南伟业知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	冯瑞;杨慧林

摘要

本发明涉及一种激活温度可控的非蒸散型薄膜吸气剂，包括第一薄膜吸气剂层以及其上方的温控层，其中，第一薄膜吸气剂层为多孔型结构，且厚度为50纳米‑5微米，温控层的材质包括ⅤB族过渡金属、ⅢB族过渡金属和Ⅷ族过渡金属中的一种或几种，其厚度为20纳米‑1微米。本发明的薄膜吸气剂还具有激活温度可控且在激活后可持续吸气的功能，在温控层上方设置第二薄膜吸气剂层以及吸气剂保护层。第二薄膜吸气剂层的厚度为10‑50纳米；吸气剂保护层为致密型结构，其材质包括Au、Sn、Pt、Ni、Pd、Ag、Cu、Ir、In等，厚度为10‑50纳米。上述薄膜吸气剂可用于真空封装。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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