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一种化学气相沉积设备

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN201921676252.0
  • IPC分类号:C23C16/455
  • 申请日期:
    2019-10-09
  • 申请人:
    碳翁(北京)科技有限公司
著录项信息
专利名称一种化学气相沉积设备
申请号CN201921676252.0申请日期2019-10-09
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/455IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;4;5;5查看分类表>
申请人碳翁(北京)科技有限公司申请人地址
北京市海淀区翠微中里14号楼三层A291室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人碳翁(北京)科技有限公司当前权利人碳翁(北京)科技有限公司
发明人李辰宇;王慧慧
代理机构北京律谱知识产权代理事务所(普通合伙)代理人李砚明
摘要
本实用新型公开了一种化学气相沉积设备,所述化学气相沉积设备包括外层反应管、内层反应管以及气体供应系统,所述外层反应管嵌套在所述内层反应管外侧,二者分别单独密封,所述外层反应管与所述内层反应管之间或者二者内部至少一处设置有连通结构,所述气体供应系统的进气端和回气端分别与所述外层反应管、内层反应管中的至少一个相连通,所述外层反应管、内层反应管左右两端的进/出气口交替作为气体供应入口。本实用新型结构简单,气体路径可调,优化了CVD法制备纳米薄膜材料的工艺。

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