一种基于液面法的高精度大平面平面度检测方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201210062768.2
IPC分类号：G01B13/22;G01B11/30
申请日期：
2012-03-11
申请人：
东华大学

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种基于液面法的高精度大平面平面度检测方法
申请号	CN201210062768.2	申请日期	2012-03-11
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2012-07-25	公开/公告号	CN102607474A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B13/22 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B13/00 以采用流体为特征的计量设备 G01B13/22 用于计量表面的粗糙度或不规则性	IPC分类号	G;0;1;B;1;3;/;2;2;;;G;0;1;B;1;1;/;3;0查看分类表>
申请人	东华大学	申请人地址	上海市松江区人民北路2999号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	东华大学	当前权利人	东华大学
发明人	邹鲲;戴惠良;方波;闫如忠;杨延竹;毛剑峰;温锦华
代理机构	上海申汇专利代理有限公司	代理人	翁若莹;柏子雵

摘要

本发明提供了一种基于液面法的高精度大平面平面度检测方法，其特征在于：步骤为：准备测量系统；布置若干测点及若干系统测点；将容器放置在测量平台上，利用激光回馈干涉仪测量所有系统测点的系统偏差值；移走容器，将被测物放置在测量平台上，利用位移传感器对被测物的待测面上所有测点进行测量，得到每个测点的偏差值；将测点的偏差值减去对应点的系统偏差值，得到测点的平面度偏差值，按照一定的评定方法计算后，即可得到被测物的待测面的平面度误差值。本发明提供的方法不但实现了大平面的高精度测量，而且同时可以扫描整个平面的三维形貌。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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